推奨オンラインカジノ推奨オンラインカジノ™シリーズ

半導体生産現場に長年広く認められている、コスト効率に優れたバッチ式推奨オンラインカジノ装置

EXPEDIUS™シリーズは、一度に最大50枚のウェーハバッチ処理を可能とし、複数の処理槽構成でさまざまな種類の薬液処理を提供するバッチ式オートウェット推奨オンラインカジノ装置です。従来から用いられてきた酸化拡散前推奨オンラインカジノやポストエッチクリーニング、レジスト剥離などのアプリケーションに加え、急速に需要の高まりを見せている3D NANDに対応する酸化膜/窒化膜高選択ウェットエッチングなどの新しい機能を、省フットプリントと高い生産性で実現しています。

推奨オンラインカジノ™ -i

お問い合わせ

推奨オンラインカジノ™ -iは、TELのオートウェットステーションEXPEDIUS™+をベースに、さらなるプロセス性能改善と生産性向上に特化した300mmウェーハ対応バッチ推奨オンラインカジノ装置です。45nmノード以降の微細加工プロセスの量産工程に適応しながら、従来装置に比べスループットを150%向上させ、毎時1,000枚という非常に高い生産性と低いCoO(総保有コスト)を実現しています。推奨オンラインカジノ工程の中でも特に高いプロセス性能が必要とされる工程に向けて薬液処理槽、純水リンス槽および乾燥機構の仕様を最適化し、クリーニング性能およびレジスト剥離性能を向上させました。また、選択エッチングプロセス技術により、エッチング時の制御性と安定性を飛躍的に向上させることが可能となりました。EXPEDIUS™ -iでは乾燥機能をさらに改良し、脆弱な構造におけるパターン倒壊抑制に最適、かつ高生産性のシーケンスを可能とする大幅なプロセス処理時間短縮に成功しました。

SiN推奨オンラインカジノ　3ロット連続処理性能

SiN推奨オンラインカジノ均一性改善

シリーズの比較

	推奨オンラインカジノ™ -i
Wafer size (mm)	300
Availability	New
Throughput (wph)	1000
Process	Pre/Post clean, Wet etch, PR strip
Substra推奨オンラインカジノs	Si
Dry method	New SD2