TOKYO ELECTRON LIMI新しいカジノ 入金不要D

新しいカジノ 入金不要 新しいカジノ 入金不要™ ULシリーズ

2020年発売 業界最大12チャンバーのフレキシブルな選択が可能

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Episode™ UL シリーズは、最大12のフレキシブルなチャンバー数の選択を可能とし、省スペース化、メンテナンス性向上、および新しいカジノ 入金不要L独自のSmart Tool機能を備え、お客さまの生産性向上を実現します。プロセスパフォーマンスと高生産性を両立し、多機能化および加速するデバイス進化を後押しします。

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新しいカジノ 入金不要™ UL

新しいカジノ 入金不要、フレキシブルなチャンバー数の選択を可能とし、省スペース化、メンテナンス性向上、およびSmart化を備えた、お客さまの生産性向上に貢献するプラットフォームです。
新しいカジノ 入金不要Lは省スペースを追求したチャンバーの水平対向設計における先駆者ですが、Episode™ UL はお客さまのFabレイアウトへの柔軟な対応を実現するため、4チャンバーから12チャンバーまでフレキシブルに搭載チャンバー数を選択することが可能です。また、最大搭載チャンバー数を12個まで増やした場合でも、水平対向設計により、クリーンルームエリア、用力エリアの両方で単位チャンバー当たりのフットプリントを大幅に削減することが可能です。さらに従来品よりワークスペースを広げることにより、メンテナンス性も向上しています。また、搬送系やプロセスモジュールに複数のセンサーや高速制御システムを搭載することで、装置の稼動やプロセス状況をモニタリングする新しいカジノ 入金不要L独自のSmart Tool機能を使用したビッグデータ解析による、自律プロセス制御が可能です。
新しいカジノ 入金不要、最新のロジックおよびメモリーデバイスの進化を後押しする、より高いプロセスパフォーマンスと拡張性を提供します。

新しいカジノ 入金不要 ULの紹介動画もぜひ併せてご覧ください。
URL: https://youtu.be/wHeXV70whAs

フレキシブルなチャンバー数の選択が可能

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省スペースを追求

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Smart 新しいカジノ 入金不要ol機能を使用

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シリーズの比較

新しいカジノ 入金不要™ UL
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Tactras™
Tactras™
新しいカジノ 入金不要rtas™ LEAGA™
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Wafer size
(mm)
300 300 300
Availability New New New
Number of chambers 1-12 1-6 1-6
Application Dielectric, 新しいカジノ 入金不要nductor,
Reactive Ion Etch
Dielectric, 新しいカジノ 入金不要nductor,
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Die新しいカジノ 入金不要ctric,
Chemical Dry Etch
Substra新しいカジノ 入金不要s Si Si Si
Safety S2, 新しいカジノ 入金不要 S2, 新しいカジノ 入金不要 S2, 新しいカジノ 入金不要

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