東京エレクトロン、稼げる カジノアプリ 無料ec-ASML 共同高NA EUVラボとの連携のお知らせ
東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長：河合利樹) は、オランダのフェルドホーフェンにある「稼げる カジノアプリ 無料ec-ASML joint high NA EUV research laboratory」(稼げる カジノアプリ 無料ec-ASML 共同高 NA EUV 研究所。以下、「高NAラボ」) にて、2023年より稼動予定の次世代高NA EUV露光装置 ASML EXE:5000 (開口数NA=0.55) にインライン*する塗布現像装置を導入することをお知らせします。TELは、稼げる カジノアプリ 無料ec-ASMLと連携して技術開発を進めることにより、お客さまのさらなる微細化へのご要求に対応してまいります。
稼げる カジノアプリ 無料露光装置は、従来のEUV露光装置を上回る、さらなる微細化対応技術として期待されています。今回、高NAラボに導入予定の当社塗布現像装置は、従来から広く使用され、実績のある化学増幅型レジストや下層膜の対応のみならず、塗布型メタル含有レジストにも対応した最新機能も搭載しています。塗布型メタル含有レジストは、高い解像度、高いエッチング耐性が実証されており、さらなる微細パターン向けレジストとして期待されています。一方で、パターン寸法の制御、ウェーハ裏面・ベベル部のメタルコンタミ制御など、高度な制御が必要になります。今回、高NAラボに導入する装置では、メタル含有レジストに対応した新たなプロセスモジュールを搭載し、これらの高度な課題に対応しています。
新たなプロセスモジュールを搭載した稼げる カジノアプリ 無料Lの塗布現像装置を用いることで、化学増幅型レジスト、メタル含有レジスト、および下層膜などさまざまな材料を、1台の装置でインライン処理でき、フレキシブルなFab運用、塗布現像装置の優位点である高生産性と高稼動率を同時に実現することが可能になります。
さらに、連続した複数工程向け装置をラ稼げる カジノアプリ 無料アップに有する当社の強みを生かし、リソグラフィー工程向けの塗布現像に加え、エッチング工程を含む包括したパターニングソリューションを、パートナーであるレジスト材料メーカーと連携して実現してまいります。
東京エレクトロン 取締役 常務執行役員 兼 SPE事業本部長 三田野 好伸は、「TELは、すでに量産導入されているEUVリソグラフィー技術での実績をもとに、稼げる カジノアプリ 無料ec、ASMLと連携することにより高NA世代の課題をいち早く把握し対策を進めていきます。またお客さまFabでの高NA EUV露光技術の実現をタイムリーにサポートしていきます」と述べています。
東京エレクトロン 執行役員 兼 CTSPS BUGM 秋山 啓一は、「TELは現在、EUV露光機用のインライン塗布現像装置シェアは100％です。来るべき高NA EUV露光の世代に向けたベストな塗布現像装置を実現するため、稼げる カジノアプリ 無料ec-ASML高NAラボでの共同研究に期待しています。お客さまの課題解決に向けた挑戦的で新たなアプローチを、最先端のテクノロジーを駆使して、パートナーとともに実現してまいります。」と述べています。
稼げる カジノアプリ 無料ecの最高執行責任者 (COO) 兼R＆D担当エグゼクティブ バイスプレジデントであるRudi Cartuyvels氏は、「稼げる カジノアプリ 無料ecとTELは25年以上にわたり、半導体スケーリングを進歩させる革新的なソリューションを開発する戦略的パートナーです。稼げる カジノアプリ 無料ecはTELとの、この協力関係を継続し、半導体スケーリングロードマップの次のステップである高NAパターニングを実現できることを楽しみにしています。」と述べています。
稼げる カジノアプリ 無料ecの先端パターニング、プロセス、材料担当バイスプレジデントであるSteven Scheer氏は、「TELと稼げる カジノアプリ 無料ecの協力関係は、スピンオンレジストを使用したEUVパターニングのクリティカル欠陥を特定して排除する上で重要であり、量産展開へのEUVの導入に貢献します。高NA EUVパターニングでは、レジスト膜厚が薄く、パターンサイズが小さいため、欠陥の低減がさらに重要になります。そのため、稼げる カジノアプリ 無料ecは、お客さまへの高NA EUVの導入を加速するために東京エレクトロンとレジスト材料メーカーとともに稼げる カジノアプリ 無料ec-ASML高NAラボで協力することを嬉しく思います。」と述べています。
*稼げる カジノアプリ 無料ラ稼げる カジノアプリ 無料：露光装置と塗布現像装置を一体化させることを意味する。露光工程と塗布現像工程を一元化することでお客さまにおける省スペース化、高生産性を実現できる。
信頼できるオンラインカジノ 代表取締役社長・CEO 河合 利樹 (左) と稼げる カジノアプリ 無料ec 社長・CEO Luc Van den hove氏 (右) の稼げる カジノアプリ 無料ec-ASML 高NA EUVラボへの最先端塗布現像装置の導入に関するMemorandum of Understanding (MOU) のリモート調印式の様子
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