オンラインカジノの入金方法露光による極微細パターニング工程向けガスクラスタービーム装置Acrevia™ 販売開始のお知らせ

　東京エレクトロン（TEL、東京都港区、社長：河合利樹）は、オンラインカジノの入金方法露光による極微細パターニング工程向けガスクラスタービーム装置「Acrevia ^TM」を発売することをお知らせします。

　Acreviaは、オンラインカジノの入金方法露光による極微細なパターニング工程において、ガスクラスタービーム（GCB）により線幅の加工と形状の補正をおこなう装置です。当社独自のGCB技術に基づき、従来では成しえなかった低ダメージ加工を実現でき、お客さまのデバイスの微細化と歩留まり向上、オンラインカジノの入金方法パターニング工程のコスト低減に貢献します。本装置は、オンラインカジノの入金方法露光とその後に続くエッチング処理後のパターンに対し、任意の角度から直進性をもったビームを照射することで極微細な線幅加工と形状補正をおこないます。また、当社の独自のソフトウエア技術LSP (Location Specific Processing)によりウェーハ面内に対しビームを照射する点をスキャンする機構を新たに備え、任意の加工制御を可能とします。同時に、パターン側壁の荒れ（LER：Line Edge Roughness）を改善でき、歩留まり低下の原因となる露光工程の最適化および欠陥の低減が可能です。

　東京エレクトロン DSS BUGMの石田寛は、「当社独自の高エッチレートかつ低ダメージによるオンラインカジノの入金方法ン加工が可能な技術を備えたAcreviaは、難度がますます高まる最先端のオンラインカジノの入金方法ニングにおいて、さらなる微細化と、生産性の最大化を実現します。今後も、お客さまの期待を超える技術開発を進め、デバイスの進化に貢献してまいります。」と述べています。

*オンラインカジノの入金方法：ガス分子を結合しクラスター化することで、高いエネルギーをもちながら表面のダメージを抑えて処理する技術

Acreviaは、オンラインカジノの入金方法グループの日本およびその他の国における登録商標または商標です。