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08
Dielectric film formation

絶縁膜埋め込み

RESTART

酸化膜を堆積させ、層間絶縁膜を形成する。CVD装置や液体の材料をスピンコーターで塗布するコータを使う。

半導体製造関係装置

絶縁膜成膜装置(コータ、プラズマCVD)
09
Planarization

平坦化処理

RESTART

でこぼこに堆積された膜面を研磨し、平坦にする。

半導体製造関係装置

ガスケミカルエッチング装置、洗浄装置
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